La espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente (ICP-MS) es un tipo de espectrometría de masas que es capaz de detectar metales y varios elementos no metálicos en concentraciones tan bajas como una parte en 1015 (parte por cuatrillón, ppq) en el fondo bajo no interferido isótopos. Esto se logra ionizando la muestra con plasma acoplado inductivamente y luego usando un espectrómetro de masas para separar y cuantificar esos iones. En comparación con la espectroscopía de absorción atómica, ICP-MS tiene mayor velocidad, precisión y sensibilidad. Sin embargo, en comparación con otros tipos de espectrometría de masas, como la espectrometría de masas de ionización térmica (TIMS) y la espectrometría de masas de descarga luminiscente (GD-MS), ICP-MS presenta muchas especies interferentes: argón del plasma, gases componentes del aire que se filtran los orificios del cono y la contaminación del material de vidrio y los conos. La variedad de aplicaciones supera a la espectroscopía de emisión atómica de plasma acoplado inductivamente e incluye la especiación isotópica. Debido a posibles aplicaciones en tecnologías nucleares, el hardware ICP-MS es un tema para las regulaciones especiales de exportación.
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